半導體產(chǎn)品
圓頂和腔
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陰極護罩
下部保護罩
陶瓷加熱器
陶瓷環(huán)
陶瓷頂蓋
上部保護罩
氣體噴頭
藍寶石晶元舟
靜電吸盤
晶圓加熱器
晶圓花籃
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